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8"-25槽制程用晶舟

制程用晶舟适用于制程间晶圆的传送,与晶舟盒搭配可存储和运输晶圆片。产品尺寸符合适配业内主流规范,也可依照客户要求进行定制化设计。

8"25槽 制程用晶舟 
- 静电耗散,避免晶圆受到静电损害
- 超低气体释放
- 超低杂质含量
- 耐磨可保护晶圆
- 耐高温制程


产品主要参数
晶圆最大承载量:25
D1距:25.40mm(1")
槽距:6.35mm(0.25")
槽最窄距:1.70mm(0.07")